本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种炉管喷嘴的安装辅助装置。
背景技术：
现今半导体12寸工艺逐渐普及，工艺尺寸的增长会导致制石英件的尺寸增长，例如，炉管制成中用到的石英喷嘴，为了满足制成需求，喷嘴尺寸和重量都有增加。
而目前常见对这种喷嘴的安装更换方式仍是操作人员佩戴防护具，在没有额外的辅助装置，独自进行安装和更换。
由于现今的喷嘴较之以前在尺寸和重量均具有增加，若继续采用上述方式进行安装，则具有以下缺点：
(1)制成的需求管内只能降温至300℃，使得人工安装更换难度加大；
(2)由于更换时操作人员必须佩带防高温手套，使得安装更换的操作空间变小；
(3)由于环境因素的影响，会导致操作人员因无法准确掌握角度而导致喷嘴断裂，不仅造成石英损耗，还需要对断裂材料进行清理，费时费力。
由此可见，喷嘴的尺寸、重量增加时，安装更换喷嘴的难度也随之加大。而现今技术中仍未出现能够帮助操作人员对喷嘴进行快速便捷更换的辅助装置。
技术实现要素：
为解决上述的现有问题，现提供一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，包括：
一主杆；
一高度调节装置，设置于所述主杆上；
一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；
一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；
一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；
其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。
优选的，所述夹持装置包括：
一竖直部，多个所述夹具设置于所述竖直部上；
一水平部，所述水平部的一端连接所述竖直部的底端，另一端连接所述方向调节装置。
优选的，所述夹具中包括：
一弹簧夹，包括一弹性元件，一固定臂和一操作臂，所述固定臂固定在所述竖直部上；
固定件，包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件固定于所述竖直部并靠近所述固定臂，所述第二固定件固定于所述主杆上；
一套管，所述套管设置在所述第一固定件和所述第二固定件之间，且两端分别被所述第一固定件及第二固定件固定；
一钢丝，所述钢丝的一端依次穿过所述第二固定件、套管、第一固定件并连接至所述操作臂；
所述主杆上还包括：
一操作部，设置在所述主杆上并与所述钢丝的另一端连接。
优选的，所述高度调节装置包括：
多个多边形通孔，所述多边形通孔纵向设置在所述主杆上，所述方向调节装置连接所述高度调节装置的区段的横截面形状与所述多边形通孔的形状相匹配，所述方向调节装置通过连接不同的所述多边形通孔进行高度调节。
优选的，所述高度调节装置包括：
一空腔，设置在所述主杆的上部；
一活动杆，所述活动杆的一端伸入所述空腔内；
一齿条，沿所述活动杆长度方向设置在所述活动杆伸入所述空腔的所述一端；
一齿轮，可转动的固定设置在所述空腔内，并与所述齿条啮合；
一摇柄，设置于所述主杆上并伸入所述空腔与所述齿轮连接。
优选的，所述高度调节装置包括：
一空腔，设置在所述主杆的上部；
一活动杆，一端通过螺纹连接于所述空腔内。
优选的，所述方向调节装置包括：
一球座，连接在所述主杆上；
所述夹持装置包括：
一球体，连接所述水平部上远离所述垂直部的一端并嵌设于所述球座中与所述球座形成球副。
优选的，所述方向调节装置还包括:
紧固件，所述紧固件设置在所述球座上。
优选的，所述主杆还包括一水平仪。
上述技术方案的有益效果是：提供一种喷嘴安装辅助装置，能够在夹持/松开喷嘴的同时，带动喷嘴进行高度和方向上的调节，从而使炉管喷嘴更换更便捷，可减少设备因更换喷嘴而停机的时间，降低喷嘴在更换过程中损坏的可能性。
附图说明
图1是本实用新型中的一种优选实施例的结构示意图；
图2是一种喷嘴的结构示意图；
图3是本实用新型中的一种优选实施例的夹具的结构示意图；
图4是本实用新型中的一种优选实施例的高度调节装置的位置示意图；
图5(a)是本实用新型中的一种优选实施例的高度调节装置的空腔示意图；
图5(b)是本实用新型中的一种优选实施例的高度调节装置的齿条、齿轮和摇柄示意图；
图5(c)是本实用新型中的一种优选实施例的高度调节装置的摇柄的位置示意图；
图6(a)是本实用新型中的一种优选实施例的方向调节装置的正视图；
图6(b)是本实用新型中的另一种优选实施例的方向调节装置的俯视图；
图6(c)是本实用新型中的一种优选实施例的方向调节装置的阻尼环的示意图；
图6(d)是本实用新型中的一种优选实施例的方向调节装置的上齿条、下齿条和齿轮的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
一种喷嘴安装辅助装置，如图1所示，包括：
一主杆1；
一高度调节装置，设置于主杆1上；
一方向调节装置，连接于高度调节装置上；
一夹持装置2，夹持装置2上设置多个用于夹持喷嘴的夹具20；
一可调角底座13，设置于主杆1的末端上；
其中，夹持装置2连接于方向调节装置上。
具体地，由于半导体工艺发展，如图2所示，喷嘴01的尺寸越来越大，喷嘴01的安装更换的过程更为繁杂。为简化安装更换步骤，本实用新型提供一种喷嘴的安装辅助装置，其中包括主杆1、高度调节装置、方向调节装置、夹持装置2和可调角底座13，高度调节装置设置于主杆1上，方向调节装置连接与高度调节装置，夹持装置2上设置多个夹持喷嘴的夹具20并连接与方向调节装置。在具体使用过程中，可通过夹具20将喷嘴固定到夹持装置2上，随后根据安装环境调节方向调节装置和高度调节装置，以实现喷嘴的高度角度及安装环境之间的相互匹配，将喷嘴送至安装位置后，调节夹具20即可实现喷嘴的安装。
进一步地，考虑到实际安装环境温度较高，为提高喷嘴安装辅助装置的使用寿命，夹持装置2和夹具20均可选取耐高温的、与喷嘴制作材料较为亲和的材质进行制作。
本实用新型的一种较优实施例中，夹持装置2包括：
一竖直部21，多个夹具20设置于竖直部21上；
一水平部22，水平部22的一端连接竖直部21的底端，另一端连接方向调节装置。
具体地，考虑到现有安装环境多为高温环境，喷嘴多呈柱体状，为便于操作人员的安装操作，夹持装置2中包括竖直部21和水平部22，夹具20设置在竖直部21上，水平部22连接主杆1上的方向调节装置，通过夹具20夹持喷嘴，随后调节主杆1上的方向调节装置和高度调节装置，使喷嘴送至安装位置，实现喷嘴的安装。
本实用新型的一种较优实施例中，如图3所示，夹具20中包括：
一弹簧夹，包括一弹性元件201，一固定臂202和一操作臂203，固定臂202固定在竖直部21上；
固定件，包括第一固定件204和第二固定件205，第一固定件204固定于竖直部21并靠近固定臂202，第二固定件205固定于主杆1上；
一套管206，套管206设置在第一固定件204和第二固定件205之间，且两端分别被第一固定件204及第二固定件205固定；
一钢丝207，钢丝207的一端依次穿过第二固定件205、套管206、第一固定件204并连接至操作臂203；
主杆1上还包括：
一操作部，设置在主杆1上并与钢丝207的另一端连接。
具体地，本实用新型提供一种喷嘴安装的辅助装置，以实现喷嘴的辅助安装，喷嘴到达安装位置之前，夹具20夹住喷嘴并带动喷嘴移动，喷嘴到达安装位置后，松开喷嘴实现喷嘴的安装固定，安装过程中的夹具20由夹持状态转为松开状态。因此，夹具20中包括：弹簧夹、固定件、套管206和钢丝207，主杆1上还设置操作部，与钢丝207连接，操作部控制钢丝207产生形变，致使操作臂203移动，夹住或松开喷嘴。
进一步地，弹簧夹中的弹性元件201可选为弹簧、固定臂202和操作臂203的形状可设置为与喷嘴的形状尺寸相匹配，当需要安装的喷嘴呈圆柱状时，固定臂202与操作臂203的横截面则呈半圆状，固定臂202与操作臂203的尺寸也与喷嘴相匹配。
进一步地，为增大弹簧夹的适用范围，可于固定臂202与操作臂203的内壁上设置弹性材料，弹性材料可根据不同尺寸的喷嘴产生相应的形变，实现夹持喷嘴的功能。
进一步地，此处的操作部与钢丝207的另一端连接，用于实现对操作臂203的活动控制，操作部可为牵拉把手、可转动的摇臂及电动控制的舵机。
本实用新型的一种较优实施例中，如图4所示，高度调节装置包括：
多个多边形通孔111，多边形通孔111纵向设置在主杆1上，方向调节装置连接高度调节装置的区段的横截面形状与多边形通孔111的形状相匹配，方向调节装置通过连接不同的多边形通孔111进行高度调节。
具体地，为实现夹持装置2的高度调节和方向调节，因此高度调节装置中包括多个多边形通孔111，方向调节装置连接高度调节装置的区段的横截面形状与多边形通孔111的形状相匹配，当多边形通孔111的形状为三角形时，横截面形状也相应设置为三角形，当多边形通孔111的形状为四边形、五边形时，横截面形状也对应设置，通过形状上的匹配，实现夹持装置2与主杆1之间的固定。
多边形通孔111纵向设置在主杆1上，多边形通孔111的高度不同，因此选用不同的多边形通孔111，夹持装置2的高度也不相同，夹持装置2上设置的夹具20能够夹持喷嘴，因此实现喷嘴的安装高度的调节。
本实用新型的一种较优实施例中，如图5(a)-(c)所示，高度调节装置包括：
一空腔112，设置在主杆1的上部；
一活动杆113，活动杆113的一端伸入空腔112内；
一齿条114，沿活动杆113长度方向设置在活动杆113伸入空腔112的一端；
一齿轮115，可转动的固定设置在空腔112内，并与齿条114啮合；
一摇柄116，设置于主杆1上并伸入空腔112与齿轮115连接。
具体地，于高度调装置中设置空腔112、活动杆113、齿条114、齿轮115和摇柄116，在实现高度调节的过程中，通过摇柄116控制齿轮115转动，而齿轮115与齿条114啮合，当齿轮115正向转动时，齿条114向上移动，因此活动杆113向上伸出空腔112，从而带动喷嘴上移，而当齿轮115反向转动时，齿条114向下移动，因此活动杆113向下伸入空腔112，从而带动喷嘴下移，由此通过高度调节装置实现喷嘴的高度调节。
本实用新型的一种较优实施例中，高度调节装置包括：
一空腔，设置在主杆1的上部；
一活动杆，一端通过螺纹连接于空腔内。
具体地，于高度调节装置中设置一空腔和一活动杆，活动杆通过螺纹连接于空腔内，正向转动活动杆时，活动杆带动喷嘴上移，反向转动活动杆时，活动杆带动喷嘴下移，由此通过高度调节装置实现喷嘴的高度调节。
进一步地，可在活动杆上设置多个高度标识，通过观察高度标识能够确定此时的夹持装置2上夹持的喷嘴与主杆1底部之间的高度差。
本实用新型的一种较优实施例中，如图6(a)-(d)所示，方向调节装置包括：
一球座121，连接在主杆1上；
夹持装置2包括：
一球体122，连接水平部22上远离垂直部的一端并嵌设于球座121中与球座121形成球副。
本实用新型的一种较优实施例中，方向调节装置还包括:
紧固件，紧固件设置在球座121上。
具体地，夹持装置2的一端设置一球体122，嵌设于主杆1上的球座121形成球副，在夹持装置2与主杆1保持固定连接的同时，可改变夹持装置2与主杆1之间的角度，然而此时的角度不是固定的，随时能够发生改变。
进一步地，设置一紧固件，从而实现夹持装置2与主杆1之间的角度固定。
作为一种优选的实施方式，如图6(a)所示，紧固件包括：一螺栓123和一阻尼件124，球座121内设置一螺孔，阻尼件124设置在螺孔靠近球体122的一端，螺栓123旋入螺孔并挤压阻尼件124，致使阻尼件124与球体122摩擦，从而实现球体122与球座121之间的固定。
作为另一种优选的实施方式，如图6(b)-(d)所示，紧固件包括：一螺栓125和一阻尼环126，球座121内设置一螺孔，阻尼环126的一端设置上齿条127，另一端设置下齿条128，螺栓125与阻尼环126连接的一端设置一齿轮129，螺栓125正向旋转齿轮129，上齿条127和下齿条128旋紧，阻尼环126收缩，固定球体122；螺栓123反向旋转齿轮115，上齿条127和下齿条128松开，阻尼环126展开，松开球体122，此时可摆动夹持装置2，调节角度。
本实用新型的一种较优实施例中，主杆1还包括一水平仪。
具体的，由于实际操作环境不同，主杆1的底部设有可调角底座13，用于调节角度，同时可利用水平仪检测当前的水平状态，让安装辅助装置在任何时刻、任何地形下均能保持水平，以便于操作人员进行后续的安装操作，避免出现因辅助装置不平而导致的安装不准确、不牢固等问题。
此外以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
1.一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，包括：
一主杆；
一高度调节装置，设置于所述主杆上；
一方向调节装置，连接于所述高度调节装置上；
一夹持装置，所述夹持装置上设置多个用于夹持喷嘴的夹具；
一可调角底座，设置于所述主杆的末端上；
其中，所述夹持装置连接于所述方向调节装置上。
2.根据权利要求1所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述夹持装置包括：
一竖直部，多个所述夹具设置于所述竖直部上；
一水平部，所述水平部的一端连接所述竖直部的底端，另一端连接所述方向调节装置。
3.根据权利要求2所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述夹具中包括：
一弹簧夹，包括一弹性元件，一固定臂和一操作臂，所述固定臂固定在所述竖直部上；
固定件，包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件固定于所述竖直部并靠近所述固定臂，所述第二固定件固定于所述主杆上；
一套管，所述套管设置在所述第一固定件和所述第二固定件之间，且两端分别被所述第一固定件及第二固定件固定；
一钢丝，所述钢丝的一端依次穿过所述第二固定件、套管、第一固定件并连接至所述操作臂；
所述主杆上还包括：
一操作部，设置在所述主杆上并与所述钢丝的另一端连接。
4.根据权利要求1所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述高度调节装置包括：
多个多边形通孔，所述多边形通孔纵向设置在所述主杆上，所述方向调节装置连接所述高度调节装置的区段的横截面形状与所述多边形通孔的形状相匹配，所述方向调节装置通过连接不同的所述多边形通孔进行高度调节。
5.根据权利要求1所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述高度调节装置包括：
一空腔，设置在所述主杆的上部；
一活动杆，所述活动杆的一端伸入所述空腔内；
一齿条，沿所述活动杆长度方向设置在所述活动杆伸入所述空腔的所述一端；
一齿轮，可转动的固定设置在所述空腔内，并与所述齿条啮合；
一摇柄，设置于所述主杆上并伸入所述空腔与所述齿轮连接。
6.根据权利要求1所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述高度调节装置包括：
一空腔，设置在所述主杆的上部；
一活动杆，一端通过螺纹连接于所述空腔内。
7.根据权利要求2所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述方向调节装置包括：
一球座，连接在所述主杆上；
所述夹持装置包括：
一球体，连接所述水平部上远离所述竖直部的一端并嵌设于所述球座中与所述球座形成球副。
8.根据权利要求7所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述方向调节装置还包括:
紧固件，所述紧固件设置在所述球座上。
9.根据权利要求1所述的一种喷嘴安装辅助装置，其特征在于，所述主杆还包括一水平仪。
技术总结